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瞬低補償装置 (瞬時電圧低下補償装置)

瞬低補償装置をつけることにより、下記の影響を解消することが出来ます。

 瞬低(瞬時電圧低下)が発生すると
  1. ウェハ、プローブカードを壊す恐れがあります。
  2. テスタ・プローバの故障を誘発する場合があります。
  3. テスタ、プローバの復旧に時間を要し、納期遅延を招きます。
 特長

落雷などの自然現象により、電圧が瞬時(1秒以下)に低下したとき、一時的に負荷電圧を供給し停電を防止するための装置です。電気二重層コンデンサで蓄電し、インバータで直流を交流に変換します。バッテリー(鉛電池)式UPSに比べ

(1) 効率が極めてよい (2) 小型、軽量 (3) 環境に優しい

というメリットがあります。

容量 4,500kVA
瞬低検出レベル 6,600V-9%
保証値 1.0秒 実力3.0秒

 【施工年月】
’05年7月/ ’06年5月

防雷システム

 説明

雷雲に誘導されて生じた地上の電荷を接地抵抗の低い地電流収集線で収集し、 先端放電(電荷放電)を活性化するイオナイザ(電荷放散気)で空中に放散し、 集中した電荷により電界を緩和し、落雷を防止するシステムです。

防雷システム拡大写真1防雷システム拡大写真2

【施工年月】 '08年5月

防雷システム_設置外観