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ウェハ検査とは?

  • ウェハ状態で電気的に特性を検査し良品・不良品を識別する工程です。

1.ウェハ検査で必要なもの

ウェハとは? ICチップの製造に使われる半導体でできた、薄くスライスした円盤状の板です。
プローバとは? ウェハプローバはテスターに接続されており、ウェハ上のICの電極に対して針を当てる装置です。
テスタとは? ウェハ上のIC電極に対して電気的信号を入力し、製品の電気的特性を判定する装置です。
プローブカードとは? チップの電極と、測定機であるテスタとを接続するコネクターのような役割を持ち、ICチップの電極に針を接触させるための治具です。
コンタクト動作の様子はこちらからご覧いただけます
ウェハ検査コンタクト動作の動画を見ることができます。

プローブカード基盤

プローブカード針先
プローブカード

ウェハ

2.電極の種類

  • デバイスの仕様により、アルミパッド、金バンプ、ハンダバンプ、ハンダボールの4種類があります。
アルミパッド
バンプパッド
デバイスパッドの構造

ハンダボール      

3.プローブカードとウェハのコンタクト関係

スプリング式コンタクトピンの構造とテスティングのイメージ

4.プローブカードの様々な状態

  • プローブカードを使用していくと、様々な問題が発生します。
  • 新品の状態から、適正なコンタクト条件を設定することにより250万回コンタクトしても問題無く使用できます。
新品プローブカードの針先は揃っている

アルミくずが付着した様子
プローブ針位置がずれ、不ぞろいになった様子
写真に撮るとプローブ針の高さのばらつきがよくわかる
250万回コンタクトしても、新品に近い状態を保つことができる